Объявлены условия конкурса на лучшие научные проекты междисциплинарных фундаментальных исследований по теме «Фундаментальные проблемы многоуровневых систем металлизации ультрабольших интегральных схем»
4 сентября 2018 года, 23:37
Федеральное государственное бюджетное учреждение «Российский фонд фундаментальных исследований» (далее – РФФИ) объявляет о проведении конкурса на лучшие научные проекты междисциплинарных фундаментальных исследований по теме «Фундаментальные проблемы многоуровневых систем металлизации ультрабольших интегральных схем» (код темы 26-827).
Рубрикатор темы:
827.1. Фундаментальные проблемы повышения степени интеграции и быстродействия УБИС.
827.2.Новые методы формирования low-k диэлектриков для использования в технологиях многоуровневой металлизации интегральных схем.
827.3. Методы контроля пористой структуры, электрических и механических свойств пористых low-kдиэлектриков.
827.4. Новые металлы с низким удельным сопротивлением, высокой стойкостью к электромиграции и высокоэффективные барьерные слои для новых поколений систем металлизации интегральных схем.
827.5.Новые технологические схемы изготовления многоуровневых систем металлизации с минимальными временами задержки для суб- 7 нм технологий микроэлектроники.
827.6. Новые методы плазмохимического травления в технологии формирования многоуровневых систем металлизации интегральных схем. Процессы селективной поверхностной модификации пористых low-kпленок для процессов атомно-слоевого осаждения.
827.7. Оптика на кристалле для межсоединений верхнего уровня УБИС.
Конкурсная комиссия: бюро совета РФФИ.
Форма проведения конкурса: путем подачи заявок в электронном виде в КИАС РФФИ.
Дата и время начала подачи заявок: 10.09.2018 15:00 (МСК)
Дата и время окончания подачи заявок: 10.10.2018 23:59 (МСК)
Порядок информирования об итогах конкурса: уведомление участников конкурса о решении конкурсной комиссии в электронном виде в КИАС РФФИ и опубликование списка победителей конкурса на сайте РФФИ 28 декабря 2018 года.
Победителям конкурса предоставляется право заключить Договор о предоставлении гранта победителю конкурса и реализации научного проекта.
Грантополучатель: коллектив физических лиц.
Срок реализации проекта: 3 года.
Максимальный размер гранта: 6 миллионов рублей в год.
Минимальный размер гранта: 3 миллиона рублей в год.